Представяне на механична обработка силиций

"Се използват за механична обработка силициев Моос твърдост 7 за обработка.: Изкуствени диаманти, диамантени прахове, пасти диамантени с добавен." Представяне на - Препис:

1 ръчна обработка силициев

2 Mohs твърдост 7 за обработка са използвани: изкуствени диаманти, диамантени прахове, пасти диамантени с добавени активни вещества, абразиви SiC и Al 2O 3 семена 1. рязане и задни части и отстраняване на дефектни части

2. слаб 3 странична повърхност с желания диаметър

4 3. Смилане база изключване Получаване парче база е необходимо за същата ориентация плаките в процеса растения. Конструкции чипове на вафли оформени така, че едната страна на кристала е успоредна на основата парче.

5 4. Режеща пластина за ориентация се определя от X-острие вибрации се контролира чрез капацитивен сензор Загуба на рязане ширина от 325 микрона (загубена

6 Отклонения от точната форма на субстратите непаралелност страни (клин) се характеризира с разликата от тяхната дебелина Н1- Н2 при предварително определена дължина L Nonflatness - най-голямо разстояние от точките за реалната повърхност напълно плоска. Деформация - най-голямо разстояние от действителните точките на профила в радиално напречно сечение, съответстващо на плоската повърхност на съседния профил и - nonparallel страни; б -neploskostnost; в - деформация

7 6. скосяване профилен кант (наклон) на плочите трябва да бъдат заоблени. Това намалява вероятността от поява на пукнатини край и чакъла и подобрени качествени литографски епитаксиални слоеве. 5. Двустранен смилане суспензия използва Al 2O 3 в глицерол отстранява

8 механично увредена повърхностен слой плоча I - облекчение слой; II - treschinovatyysloy; III - деформирани слой; IV - структура плоча качество непрекъсната повърхност характеризира с механично повреден дълбочина слой и качеството грапавост обеззаразяване.

1.5 m с 2 - 4, размерът на частиците

9 полиране Когато триене генерира топлина - йони ОН - реагират с Si. Получените частици на оксиди механично отстраняват SiO 2. изтрити

25 микрона. процес отнема

5 минути. Суспензия - колоиден разтвор на SiO 2 частици (10 пМ) във воден разтвор на NaOH

10, на грапава повърхност профила на неравностите на субстрата може да бъде оценена средноаритметичната грапавост Ra, т.е., средната стойност на абсолютните стойности на отклоненията в профила в рамките на референтната дължина L: .. или височина грапавостта Rz от десет точки: грапавостта на повърхнината на плочите не трябва да бъде под 13-14 ти клас, която съответства на височината на microroughness 0.100 до 0.025 микрона.

11 импулс топлинна обработка 1. Възстановяването на кристалната структура след йонна имплантация. 2. Намаляване на дислокация плътност от 2-3 порядъка на концентрацията на кислород клъстери и най-малко един порядък при излагане на импулси с продължителност по-малка от 0,05 S, повърхностните слоеве на загряване до 1350-1400 ° С 3. Редукция на стойност на съпротивление контакт метал силиций приблизително един порядък при излагане на импулси от порядъка на 1 секунда, повърхността на нагревателна плоча до температура под температурата на топене на метала. При това се използват еднакво отопление на цялата площ на плочата. 4. Създаване на повърхностни слоеве с висока концентрация на дефекти, които могат впоследствие да бъдат използвани за газопоглъщащи лесно разсейващи примеси (играят ролята на рекомбинация центрове). 5. Режещо плочи.

12 режима на нагряване - охлаждане двумерен топлопроводимост уравнение за област полу-безкраен, а повърхността на източника на нагрява топлина на постоянна мощност, когато пренебрегва топлообмен с външната среда: Q - плътност на мощност, - на топлопроводимост, - температурен коефициент на дифузия, с - специфичната топлина на материала. Характерните дължината на топлинна пред размножаване. Когато Т = 1 в L Т е около 0.7 cm. Вече за х = 0,3 L T температурата в 2 пъти по-малко от повърхността на вафла. Когато Т = 1 микросекунда капка вътрешна температура пада върху слой от около 0.5 микрона дебелина. В 1300 С топлинните загуби, дължащи се на радиация са около 40 W / cm 2. След приключване на доставката на енергия за охлаждане дебелина плоча на 1 mm от 1300 ° С до 600 ... 700 ° С в продължение на няколко десетки милисекунди. В случая, когато плочата се нагрява с кратък импулс, охлаждането ще продължи по-бързо поради отвеждане на топлина в по-нагряват слоеве.

13 Зависимостта на удължението на натоварване 1 - еластична диапазон. 2 - пластична деформация. Пластична деформация на микроравнище съответства на външния вид и движение на размествания. 3 - област втвърдяване материал. Благодарение на залавянето на разстройството в центровете, които не могат да бъдат преместени (кислородни клъстери). След като напуска този регион изчезва област 2. Когато лимитът за материални товарни проба се счупи (площ 4).

14 Зависимост на л / л от времето за зареждане на натоварване е близък по размер до региона на преход от еластична пластмаса обхвата на диапазон. Парцел 1 съответства на външния вид и увеличаване на броя на изкълчвания част 2 - преместване от него, и част 3 - изхода на втвърдяване област. С нарастването на всички процеси се ускоряват температура. Т2> Т1 Т1 ">

15 импулси на въздействието на материал като функция на плътността на мощност и продължителност на зони 1 и 2 се използват за възстановяване на кристалната структура или образуването на епитаксиални слоеве (и целесъобразно дисплей субстрат). Площ 2 - да се намали плътността на дислокация и кислородни клъстери и да се създаде слоеве, имащи свойства на газопоглъщащи примеси. Област 4 - рекристализационни слоеве аморфизира с йон допинг, подобряване контакт свойства. Област 3 - разделяне (рязане) на плочите. 1- повърхностни топене слоеве, лежащи под твърди слоеве могат да се деформират пластично. 2 - повърхността на плочата не довежда до разтопяване. 3 - плоча е унищожен. 4 - якост на опън е надвишена.

Рязане диск 16 с режещ ръб на диамант (достъпно пълна дебелина) 1 - Охлаждане дюза; 2 - режещия ръб на диска; 3 - на основата на диска; 4 - разделят плоча; 5 - адхезивен материал; 6 - плоча за фиксиране на дорник вафлата кубчета Скрайбиране лазерен лъч

Разделянето плочи 17 предписани чрез пружина ролка 1 - валяк; 2 - полиетилен; 3 - Като; 4 - разделителната линия; 5 - плоча

Разделянето плочи 18 предписани на полусферата 1 - гъвкавата мембрана; 2 - плоча; 3 - полукълбо; 4 - изходящ въздух