Контрол на дебелината на тънки филми - studopediya

Определяне на дебелината на покритието създава сериозни технически трудности, най-вече поради факта, че терминът "дебелина", както се прилага за тънки слоеве губи увереност сила разработени релефни повърхности.

Чрез "истинска" дебел филм трябва да се разбира стойност

където г (Ш Щ.) - височината на външната граница на метални граници,

S - площ слой.

Съществуват няколко метода за измерване на дебелината на проводими тънки филми: метод на оптичен интерферометрия, електрически, гравиметрични методи, методи с игла индикатор и т.н.

Електрически методи включват измерване на електрическо съпротивление на дву- филм R или метод четири сонда и изчисляване на дебелината на съответните формули със специфично съпротивление R. За метода на две сонда

където L - дължина на филма (разстояние между парчета);

и - ширината на филм песен.

Гравиметрични методи се основават на претегля на субстрата преди и след прилагане на филма. Средната дебелина на филма е даден в ангстрьома формула

където # 8710; Р - разлика тегло мкг;

S - площ на пробата, cm 2;

R - филм плътност, г # 8729 см -3.

Електрически и гравиметрични методи са прости, обаче изискват познания в първия случай съпротивлението във втория - плътност филм.

4-MDI устройство позволява да се измерва височината на нередности, вариращи от 1 до 0.03 микрона.

При инсталиране отразяващ изображението проба табло плоско оформен в неговите ресни (фиг. 2.53)

Фиг. 2.53. Повърхността на смущения картина равнина (а);
б - етап на фолио (1) - субстрат (2)

Ако стъпка за образуване на филм субстрата върху субстрат, моделът на смущения се променя (фиг. 2.53, б).

Според това изображение с помощта окуляр микрометър дебелина един филм може да се определи

Редът на изпълнение:

1. Преглед на 4-работно устройство MII използване описанието му.
2. Измерете дебелината на филмови проби, предлагани чрез MII-4.
3. С помощта на уред за измерване да се измери съпротивлението на тези проби да се определи # 961; ,
4. Резултати п.п. 3.4 доведе до масата и се направи графика # 961; = F (г)
5. Поставете пробите в термостат и температурата и измерване на съпротивлението изобразени # 961; = F (T) и LN # 963; = F ()
6. Определя TCS проби и изобразени TCS = F (г)
7. резултати за грешка процент.

1. Тънки слоеве се използват, където?
2. Филмът се отличава от пробите за насипни? Защо?
3. На какво се дължи на зависимостта # 961; = F (г)?
4. Който обработва поради зависимостта на R = е (Т)?
5. За да се обясни зависимостта на TCR = F (г).
6. Какво е класически триизмерни дефекти?
7. Какво е квантовата дефекти размер?

Референции: [6] - 2,1; 10.