3. Изчисляване на вакуумната система

Общият поток газ навлиза вакуумната система има няколко компонента: технологичен поток, идващ от повърхността на таблетки филмообразуващ материал (РОМ), технологичния поток, идващ от повърхността на активните елементи на GFP, потокът на освобождаване на газ от повърхността на стените на камерата, потокът на отделянето на газ от повърхността на матрицата, потокът поради проникване през стената на вакуумната камера, изтичане поток в системата поради несъвършенства в уплътненията:

Поток газ навлиза вакуумната система от активни елементи () може да се изчисли по формулата:

при което - повърхността на активния елемент, м 2; - скоростта на специфичното отделяне на газ от повърхността на активния елемент); - броят на активните елементи в камерата.

поток процес, идващи от повърхността на активния елемент:

Повърхностната площ на активния елемент:

при което - радиусът на активния елемент, m; - дължина на активния елемент, т.

Потокът, идващи от повърхността на таблетки филмообразуващ материал (РОМ) се състои от три компонента: ,,, което се изчислява по формула (4):

където специфичен газ скорост на свързващ материал); - площ POM таблетки m2.

Ние изчисляваме площта на таблетки POM:

Потоците, идващи от повърхностите на таблетки филмообразуващи материали:

,

,

.

Общият поток. таблетки, идващи от повърхността на филмообразуващ материал (РОМ):

.

Изчислете поток изпускане на газ от повърхността на стените на камерата:

където скоростта на специфичен газ с повърхност на стената); - площта на повърхността на стената пред вакуум, м 2; ) - за неръждаема стомана [2]

при което - радиус камера, m - височина камера, т М [1], т [1].

.

Изчисляваме поток отгазирането от повърхността на формата:

където скоростта на специфичното производство на газ от повърхността); - ориентиращ дисплей площ, м 2; ) - за неръждаема стомана [2]; m2 [1].

.

Газовият поток навлиза вакуумната система поради проницаемостта на стените на вакуумна камера, може да се изчисли по следната [2] формулата:

когато константата на пропускливост - повърхността на стените пред вакуум, м 2; - налягане вътре вакуумната камера; - налягането извън вакуумната камера; - броят на газ атома в молекулата; дебелина на стената на вакуумната камера; - активиране на енергията на проницаемост на газ; - универсална газова константа, - термодинамична температура на стените на камерата.

Ние приемаме три основен газов поток през стените на вакуумната камера: водородни потоци, азот и въглероден моноксид.

Стойностите на константите в уравнение (9) и характеризиране на процеса на газ проникване през стената на вакуумна камера, показано в Таблица 2:

Таблица 2 - Коефициентите характеризиращи процеса на пропускливост на газ през стената на вакуумна камера

.

.

Потокът от въглероден монооксид:

.

Тъй (водород) >> (азот) и (водород) >> (въглероден оксид), изчисленията приемат само = (водород) =.

Поток газ въвеждане на вакуумната камера през уплътнителните разглобяеми съединения [2]:

където вероятността за наличие на изтичане, поток предавателни газ в чувствителността на изтичане детектор ,; минимален поток, засечения изтичане детектор ,; -номер съединения вакуумна система.

.

След това общата газовия поток навлиза вакуумната система, изчислен съгласно формула (1) 

.