разпрашване

разпрашаване коефициент у S р ф т >> - количество на отделяните атома на инцидент йон се определя от масата на частиците на инциденти, тяхната енергия и ъгълът на падане, както и целта материал.

Зависимост от енергията на инциденти частици

Коефициентът на разпрашаване, равна на нула, когато инцидента йонна енергия е по-малка от прага нараства бързо до енергии на няколкостотин ЕГ, където разпрашаване, става значителна. В случая, когато относителната атомната маса на целевия материал Z T> на йон инцидент и Z I> голям и не е твърде различен (0. 2 ≲ Z т / Z и ≲ 5; Z т Z и >> 1.) 2 \ lesssim Z_ / Z_ \ lesssim 5; Z_, Z _ >> 1)>. добро приближение за пръскане фактор е израз [2]:

По този начин, разпрашаване процент зависи от енергията на инциденти частици, тяхното тегло и целевия материал. Трябва да се отбележи, че горните формули са налице само за моноатомни йони и неутрални атоми.

При високи енергии, намалената зависимост на частиците на инциденти е счупен дължи на факта, че увеличава дълбочината на проникването им в материала. сблъсък каскадата е на повърхността, и атоми получават по-малко енергия, което намалява вероятността от емисиите. В резултат на енергийната зависимост е максимум, след което намалява разпрашаване проценти [3].

В зависимост от ъгъла на падане на частиците

С увеличаване на дълбочината на проникване на θ спрямо нормалната ъгълът на падане на частиците на инцидент е намалена в материала. сблъсък каскадата е близо до повърхността, неговите атоми стават голяма част от енергията. Посока импулс предава подвижни атоми е по-благоприятно за пръскане. Въпреки това, ако твърде големи ъгли на падане увеличава вероятността от отражение на електрическото поле падащата върху повърхности на частиците без съществено прехвърляне на атомите на целевата импулс. Следователно, зависимостта на разпрашване Добивът е максимум, определен от формула [4]:

Както се вижда от горните съотношения, с повишаване на йонния енергия θ m A X> увеличава.

енергийни и ъглови разпределения на разпръснатите атоми

Когато Е и Е >> т ч г> _ _ >>> >> бомбардирани атома има следното разпределение на енергия и х ъгъл емисия:

Максималната разпределение се достига при E = E т / 2> => _ / 2>. Тъй E т ~ 3..6> _ \ SIM 3..6> ЕГ, характерен енергия на разпръснатите атоми е 1,5..3 ЕГ, което е значително по-висока от всяка температура постижима равновесие [5].

Разпрашване води до ерозия на електродите на газ напълнена електронни устройства (по-специално HID лампи) сонди. използвана за плазмени диагностика. електродите на източника на плазма. За да се намали скоростта на разрушаване на електродите са склонни да се намали енергията йон използвани материали с ниска разпрашаване коефициент (графит. Titanium).

Разпрашаването се използва главно за производството на микроелектрониката тънък филм отлагане и ецване релеф.

Също така, този процес се използва при заваряване на алуминий за пробив филм оксид върху повърхността си.

Поредица от кратки бележки не се съдържат в статията, или не води до раздел "Препратки".